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                    YZ-700DLC類(lèi)金剛石沉積設備

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                    用途:主要用于在硫化鋅、硅、鍺表面鍍類(lèi)金剛石碳膜(DLC膜)
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                    產(chǎn)品詳情

                    YZ-700DLC類(lèi)金剛石沉積設備-1.pngYZ-700DLC類(lèi)金剛石沉積設備-2.png


                    YZ-700DLC 類(lèi)金剛石沉積設備

                    真空室內腔尺寸::φ700mm*H500mm

                    真空系統:分子泵+雙極旋片

                    靶源:水冷銅陰極靶+

                                  304水冷陽(yáng)極靶

                    射頻源:RF電源(13.56MHZ

                                       1 KW-1.5KW

                    空載極限真空:8.0x10-5Pa

                    空載恢復真空:2x10-3Pa 15min

                    設備電源:三相   380V    50HZ

                    設備重量:約1.5T

                    真空鍍膜機的內腔尺寸、泵組配置等可根據客戶(hù)的鍍膜工藝量身定制


                    YZ-700DLC類(lèi)金剛石沉積設備
                    YZ-700DLC類(lèi)金剛石沉積設備

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                    真空系統:分子泵+雙極旋片

                    靶源:水冷銅陰極靶+

                                  304水冷陽(yáng)極靶

                    射頻源:RF電源(13.56MHZ

                                       1 KW-1.5KW

                    空載極限真空:8.0x10-5Pa

                    空載恢復真空:2x10-3Pa 15min

                    設備電源:三相   380V    50HZ

                    設備重量:約1.5T

                    真空鍍膜機的內腔尺寸、泵組配置等可根據客戶(hù)的鍍膜工藝量身定制


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