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                    YZ-1300IBS離子束濺射鍍膜機

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                    用途:主要適用于精密薄膜領域(如:激光器、反射鏡、濾光片、長/短波通)等精密薄膜的鍍制
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                    YZ-1300IBS離子束濺射鍍膜機.png

                    YZ-1300IBS 離子束濺射鍍膜機

                    真空室內腔尺寸:φ1300mm*H1250mm

                    真空系統:分子泵+雙極旋片泵+羅茨泵+POLYCOLD

                    靶材系統:多靶位自動旋轉

                    濺射源:雙RF

                    空載極限真空:8.0x10-5Pa

                    空載恢復真空:2x10-3Pa 10min

                    設備電源:三相   380V    50HZ

                      設備重量:約5T

                    真空鍍膜機的內腔尺寸、泵組配置等可根據客戶的鍍膜工藝量身定制



                    YZ-1300IBS離子束濺射鍍膜機
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                    真空室內腔尺寸:φ1300mm*H1250mm

                    真空系統:分子泵+雙極旋片泵+羅茨泵+POLYCOLD

                    靶材系統:多靶位自動旋轉

                    濺射源:雙RF

                    空載極限真空:8.0x10-5Pa

                    空載恢復真空:2x10-3Pa 10min

                    設備電源:三相   380V    50HZ

                      設備重量:約5T

                    真空鍍膜機的內腔尺寸、泵組配置等可根據客戶的鍍膜工藝量身定制



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